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VMB/VMP

VMB/VMP

右图为大甲永和为客户所制作之2 Stick型VMB。具有三组独立压力传送器,可监控气源以及两组制程管路压力状态。所有管阀件皆采用EP等级316L不锈钢,管件皆于无尘室内进行焊接动作。除了调压阀以外,内部管件皆为本厂自行生产,所使用之手动阀也为大甲生产,质量可确保。 箱体采用粉体烤漆钢板并且各箱体皆为密闭空间。箱体内常保持负压,上方具有抽气口可移除泄漏之气体,并且设有负压表以监控箱体内部空间压力状态。所有箱门皆附钥匙锁头避免误开,箱门上之通气栅具有过滤功能,可过滤粉尘。此外设计有三色灯号,可供现场人员判断机台是否正常运作,灯号运作方式可依客户需求设定。

左图为VMB电控系统部分,除了有压力显示表,另有开关指示灯号、PLC灯号、电源灯号以及EMO紧急开关。所有灯号内容皆可依照客户所需建置,并且可预留灯号以供客户自行扩充之用。电控系统部分采用双PLC/CPU设计,可降低故障风险,并可设定切换主要工作系统。此外,具有双电源供应器(24V),作为双重保险,以免电源故障导致系统马上失效。PLC/CPU利用以太网络与中控室链接,因此中控室可监测VMB之工作状态,包括电源供应状态、压力、阀件开关以及侦测器讯号皆可利用以太网络线回传。此外,若中控室发现VMB异常,也可利用以太网络发送紧急讯号,将VMB远程关闭,减少反应时间与人工。为了避免故障时,制程气体泄漏进电控箱造成问题,电控箱利用氮气冲吹,维持正压状态。

大甲永和机械所生产制作之VMB/VMP有以下特点:
客制化生产 可依客户需求进行设计,并可根据客户预算进行优化。
符合规范 VMB/VMP装置均采用半导体规范设计,包含安全性设计以及洁净度要求。
适用性 可使用于各式G级、P级气体以及特殊制程气体。
生产能力 本厂即具有零件生产能力以及充足库存,也可弹性生产特殊零件,满足客户需求。除了部分阀件,所有管件(如Micro fitting)、接头(如VCR)或者手动阀等,皆可自行生产,因此可以大幅降低零件成本。
相关检测能力 包含氦气测漏、24小时保压测试、水氧分析以及微粒分析等能力。可于较短时间内完成焊接、组装以及测试。