daja洁净级组件

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膜片阀、球阀

Special Chemical Storage Tank

SCST

客制化生产 DAJA SCST可依客户需求进行优化设计。包括阀的选用、外观尺寸以及管路方向等,皆能弹性调整。
符合规范 DAJA SCST均采用半导体规范设计,包含安全性设计以及洁净度要求:
a. 接触药剂的表面皆采用EP电解抛光,使其表面粗度Ra <0.13μm
b. 罐体内外皆采用超洁净清洗制程,使其内表面:
 水氧值 <10ppb
 油脂残留量 <0.01mg/ft2
 微粒等级 0.1μm <1pcs/scft
c. 在洁净室里进行焊接,内焊道无氧化问题
d. 罐体氦气漏率 <1x10-9atm•cc /sec
e. 罐体保压测试:1.5倍工作压力
适用性 可使用于特殊制程药剂供应系统或分析采样使用。
生产能力 本厂即具有零件生产能力以及充足库存,也可弹性生产特殊零件,满足客户需求。除了部分阀件,所有管件(如Micro fitting)、接头 (如VCR)或者手动阀等,皆可自行生产,因此可以大幅降低零件成本。
相关检测能力 包含氦气测漏、24小时保压测试、水氧分析以及微粒分析等能力。可于较短时间内完成焊接、组装以及测试。